【摘要】
激光劃線包括許多術(shù)語(yǔ)，包括微劃線和薄膜劃線，用于創(chuàng)建精確控制的精細(xì)凹槽或?qū)⒓?xì)線寫(xiě)入薄膜和涂層。激光能量可以通過(guò)以下兩種方式之一施加到材料上，或者聚焦到一個(gè)小點(diǎn)并在表面上掃描，或者通過(guò)掩模成像以將圖案投影到表面上。
激光劃線和薄膜劃線非常適合在各種基材、薄膜和涂層上創(chuàng)建細(xì)線和其他盲特征和圖案。
激光劃線包括許多術(shù)語(yǔ)，包括微劃線和薄膜劃線，用于創(chuàng)建精確控制的精細(xì)凹槽或?qū)⒓?xì)線寫(xiě)入薄膜和涂層。激光能量可以通過(guò)以下兩種方式之一施加到材料上，或者聚焦到一個(gè)小點(diǎn)并在表面上掃描，或者通過(guò)掩模成像以將圖案投影到表面上。激光劃線的使用允許在材料表面和通過(guò)去除多層基板中的一層或多層來(lái)非常精確地寫(xiě)入精細(xì)特征。
通過(guò)使用精密激光加工，可以選擇性地瞄準(zhǔn)薄膜器件（如電容器和電池）中的各個(gè)層，從而創(chuàng)建高度通用的圖案化工藝。可以調(diào)整激光工藝以從另一層或從下面的襯底去除一個(gè)沉積層，這對(duì)于薄膜電容器生產(chǎn)中的隔離劃線處理至關(guān)重要。通過(guò)仔細(xì)選擇激光類(lèi)型和工藝參數(shù)，幾乎可以對(duì)任何材料進(jìn)行刻劃，包括高反射性或透明材料。
大多數(shù)材料都可以實(shí)現(xiàn)精確控制結(jié)構(gòu)的激光劃線和選擇性層處理，包括透明基板上的透明涂層，例如用于顯示器和光伏行業(yè)的那些。選擇性激光加工還允許去除金屬層和涂層，而對(duì)下面的基材進(jìn)行很少或不進(jìn)行加工。可以編寫(xiě)非常細(xì)的線條來(lái)創(chuàng)建高密度電路和功能或裝飾圖案。可以對(duì)柔性和剛性材料上的薄氧化層進(jìn)行激光刻劃，以確定導(dǎo)電和非導(dǎo)電區(qū)域。
薄膜激光劃線也可用于修改涂層材料的功能特性，例如修改電阻或反射率。
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